分析
真空鍍膜機(jī)適用范圍及分類?很多人對(duì)真空鍍膜機(jī)的認(rèn)識(shí)只是浮于表面,其實(shí)真空鍍膜機(jī)的研究室一門大學(xué)問(wèn),真空鍍膜機(jī)的類型有多樣化,為大家詳細(xì)介紹一下真空鍍膜機(jī)的分類及使用范圍。
真空鍍膜機(jī)包括真空離子蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺鍍膜機(jī)射、MBE分子束外延鍍膜機(jī)和PLD激光濺射沉積鍍膜機(jī)等很多種。主要是分成蒸發(fā)和濺射兩種。在真空鍍膜設(shè)備中需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料稱為靶材?;c靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材促使其形成離子小分子,并且沉降在基片表面,通過(guò)成膜過(guò)程形成薄膜。濺射真空鍍膜是利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái),高分子沉積在基片表面形成涂層薄膜。爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。
根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型鍍膜設(shè)備,有電阻蒸發(fā)真空鍍膜的設(shè)備、電子束蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備、磁控濺射真空鍍膜設(shè)備、離子鍍真空鍍膜設(shè)備、磁控反應(yīng)濺射真空鍍膜設(shè)備、空心陰極離子鍍和多弧離子鍍等。夾具運(yùn)轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)方式,用戶可根據(jù)片尺寸及形狀提出相應(yīng)要求,轉(zhuǎn)動(dòng)的速度范圍及轉(zhuǎn)動(dòng)精度:普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。
磁控濺射鍍膜設(shè)備:應(yīng)用于信息存儲(chǔ)領(lǐng)域,如磁信息存儲(chǔ)、磁光信息存儲(chǔ)等。磁控濺射鍍膜機(jī):應(yīng)用于防護(hù)涂層,如飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片、汽車鋼板、散熱片等。磁控濺射鍍Al膜生產(chǎn)線:應(yīng)用于太陽(yáng)能利用領(lǐng)域,如太陽(yáng)能集熱管、太陽(yáng)能電池等。光學(xué)鍍膜設(shè)備:應(yīng)用于光學(xué)薄膜領(lǐng)域,如增透膜、高反膜、截止濾光片、防偽膜等。
導(dǎo)電膜磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線:應(yīng)用于信息顯示領(lǐng)域,如液晶屏、等離子屏等。
磁控中頻多弧離子真空鍍膜機(jī):應(yīng)用于硬質(zhì)涂層,如切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。PECVD磁控生產(chǎn)線:應(yīng)用于集成電路制造,如薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備:應(yīng)用于在裝飾飾品上,如手機(jī)殼、表殼、眼鏡架、五金、小飾品等鍍膜。低輻射玻璃鍍膜生產(chǎn)線:應(yīng)用于建筑玻璃方面,如陽(yáng)光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等??狗瓷鋵?dǎo)電膜連續(xù)磁控濺射生產(chǎn)線:應(yīng)用于電子產(chǎn)品領(lǐng)域,如液晶顯示器、液晶電視、MP4、車載顯示、手機(jī)顯示、數(shù)碼相機(jī)和掌聲電腦等。