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18913268389湯生
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pvd真空鍍膜機(jī)鍍膜技術(shù),在日常生活中,無處不在,人人一部的手機(jī)里面大多數(shù)零部件都鍍上了一層顏色膜層或功能性膜層,來滿足人民日常生活水平。像我們每天用的餐具,刀具,五金裝飾品等等,都有經(jīng)過pvd鍍上了一層薄薄的膜層。那么Pvd鍍膜是如何實(shí)現(xiàn)這些技術(shù)的呢,有哪些鍍膜方法?下面pvd鍍膜小編為大家詳細(xì)介紹一下,希望能幫助到大家:
PVD鍍膜機(jī)技術(shù)基本方法有真空蒸發(fā)、濺射 、離子鍍(空心陰極離子鍍、熱陰極離子鍍、電弧離子鍍、活性反應(yīng)離子鍍、射頻離子鍍、直流放電離子鍍),以上是最常用的pvd鍍膜技術(shù)
電子束蒸發(fā)
電子束蒸發(fā)是利用聚焦成束的電子束來加熱蒸發(fā)源,使其蒸發(fā)并沉積在基片表面而形成薄膜。
特征:真空環(huán)境;蒸發(fā)源材料需加熱熔化;基底材料也在較高溫度中;用磁場控制蒸發(fā)的氣體,從而控制生成鍍膜的厚度。
濺射沉積
濺射是與氣體輝光放電相聯(lián)系的一種薄膜沉積技術(shù)。濺射的方法很多,有直流濺射、RF濺射和反應(yīng)濺射等,而用得較多的是磁控濺射、中頻濺射、直流濺射、RF濺射和離子束濺射。
特征:在真空室內(nèi)充入放電所需要的惰性氣體(如氬氣),在高壓電場作用下氣體分子因電離而產(chǎn)生大量正離子。帶電離子被強(qiáng)電場加速,便形成高能量的離子流轟擊蒸發(fā)源材料(稱為靶)。在離子轟擊下,蒸發(fā)源材料的原子將離開固體表面,以高速度濺射到基片上并沉積成薄膜。
RF(射頻)濺射
RF濺射使用的頻率約為13.56MHz,它不需要熱陰極,能在較低的氣壓和較低的電壓下進(jìn)行濺射。RF濺射不僅可以沉積金屬膜,而且可以沉積多種材料的絕緣介質(zhì)膜,因而使用范圍較廣。
電弧離子鍍
陰極弧技術(shù)是在真空條件下,通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài),從而完成薄膜材料的沉積,該技術(shù)材料的離化率更高,薄膜性能更加優(yōu)異。
過濾陰極弧
過濾陰極電弧(FCA )配有高效的電磁過濾系統(tǒng),可將弧源產(chǎn)生的等離子體中的宏觀大顆粒過濾掉, 因此制備的薄膜非常致密和平整光滑,具有抗腐蝕性能好,與機(jī)體的結(jié)合力很強(qiáng)。
以上幾種是真空鍍膜機(jī)常見的幾種鍍膜方式,是我們常見的幾種鍍膜方式,也日常引用最廣泛,最平凡的鍍膜方式。
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